上海萬庫真空
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MPCq控制器能夠同時操作兩個獨立的配有鈦升華泵的離子泵。與之相匹配的離子泵的抽速可達1200 l/s。前面板顯示屏能夠直接讀出離子泵的電壓、電流或壓力。
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