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渦旋式干泵常識
渦旋式干泵常識
Q：什么是渦旋干式真空泵？
A：不用油類或者液體密封的變容真空泵。
Q：渦旋干式真空泵的特點？
A：※無油、無污染
※低噪音、低振動
※使用壽命長
※空氣冷卻
※配自動氣鎮閥、可抽可凝性氣體
Q：渦旋干式真空泵的主要用途？
A：※半導體制備設備與處理室抽真空泵；
※用于液晶注入系統；
※分子泵真空系統的前級泵；
※真空密封泵；
※冷泵前級；
※用于科學和化學分析儀器；
※真空發生器；
※電子顯微鏡前級泵。
Q：渦旋干式真空泵使用注意事項？
A：※渦旋干式真空設計用于抽大氣。所以不要用此泵抽特殊氣體，如易燃氣體、含國家特殊化學品規定成分的特殊或高濃度強酸強堿性氣體、或半導體工藝中高濃度氣體、有機溶劑、結晶氣體等。
※檢查確定此真空泵安全接地。
※此泵工作過程中或剛停機時不要接觸泵電機或金屬部件（因為工作時很熱，最高可能達到70℃）。如確實需要接觸，采取必要防護措施防止受傷。
※未加風扇蓋前，不要啟動泵。
※泵工作條件要求：環境溫度5～35℃。如果超過35℃，可能引起泵或電機性能下降。
※必須安裝電機保護開關。
Q：什么是渦旋干式真空泵？
A：不用油類或者液體密封的變容真空泵。
Q：渦旋干式真空泵的特點？
A：※無油、無污染
※低噪音、低振動
※使用壽命長
※空氣冷卻
※配自動氣鎮閥、可抽可凝性氣體
Q：渦旋干式真空泵的主要用途？
A：※半導體制備設備與處理室抽真空泵；
※用于液晶注入系統；
※分子泵真空系統的前級泵；
※真空密封泵；
※冷泵前級；
※用于科學和化學分析儀器；
※真空發生器；
※電子顯微鏡前級泵。
Q：渦旋干式真空泵使用注意事項？
A：※渦旋干式真空設計用于抽大氣。所以不要用此泵抽特殊氣體，如易燃氣體、含國家特殊化學品規定成分的特殊或高濃度強酸強堿性氣體、或半導體工藝中高濃度氣體、有機溶劑、結晶氣體等。
※檢查確定此真空泵安全接地。
※此泵工作過程中或剛停機時不要接觸泵電機或金屬部件（因為工作時很熱，最高可能達到70℃）。如確實需要接觸，采取必要防護措施防止受傷。
※未加風扇蓋前，不要啟動泵。
※泵工作條件要求：環境溫度5～35℃。如果超過35℃，可能引起泵或電機性能下降。
※必須安裝電機保護開關。
※不要刮碰進氣口與排氣口法蘭，以免損壞法蘭口，導致真空度上不去。如果真空度上不去，更換法蘭。
※在進氣口處裝真空閥。
真空泵停止后進氣口處真空度降低，是因為排氣口處的大氣返至進氣口處，不是真空泵的原因。如要保證真空室內的真空度，要在真空室與泵之間安裝真空閥。
※排氣口處要接排氣管，以防灰塵進入泵內。
Q：渦旋干式真空泵加氣鎮閥時注意事項？
A：加氣鎮閥主要是為了抽包括水蒸氣在內的特殊氣體，保證泵的良好抽氣性能。使用渦旋干式真空泵時，除上述注意事項外，還要注意：
※不要用此泵抽腐蝕性氣體
此泵只能抽空氣、氮氣和水蒸氣。不要用此泵抽腐蝕性氣體，如有機溶劑、高濃度半導體工藝用氣體、高濃度強酸強堿性氣體等。這些氣體容易使軸承失效。
※被抽氣體水蒸氣含量必須少于要求值。如果超過此極限，將縮短氣鎮閥壽命
※定期檢查
※供氣
要保證加適量的氣體使泵高效率工作。
Q：渦旋干式真空泵安裝地點要求？
A：渦旋干式真空泵的安裝應滿足下述要求：
①平面放置
②避免陽光直射
③環境溫度5～35 ℃；濕度90%，或沒有結露
④通風良好
⑤泵附近不得存放化學品或易燃品
⑥防潮
⑦泵周圍環境易于對泵進行清理檢驗。
Q：渦旋干式真空泵與電源連接的注意事項？
A：※檢查確認此泵電源接地良好。
※檢查確認此泵電源為要求值。
※在此泵與真空室之間安裝保護開關。
Q：渦旋干式真空泵排氣注意事項？
A：※渦旋干式真空設計用于抽大氣不要用此泵抽特殊氣體，如易燃氣體、含國家特殊化學品規定成分的特殊或高濃度強酸強堿性氣體、或半導體工藝中高濃度氣體、有機溶劑、結晶氣體等。
※不要用此泵抽灰塵。
※不要刮碰進氣口與排氣口法蘭
以免損壞法蘭口，導致真空度上不去。如果真空度上不去，更換法蘭。
※在進氣口裝進氣閥
真空泵停止后進氣口處真空度降低，是因為排氣口處的大氣返至進氣口處，不是真空泵的原因。如要保證真空室內的真空度，要在真空室與泵之間安裝真空閥。
Q：渦旋干式真空泵聯結方式？
A：①用快卸法蘭將進氣口與相同直徑的真空管道連接。如果真空管道直徑過小，可能降低真空抽速。
②真空管道一定不能有泄漏處。
③檢查確定管道無排氣壓力。
Q：渦旋干式真空泵操作注意事項？
A：※此泵工作過程中或剛停機時不要接觸泵電機或金屬部件（因為工作時很熱，最高可能達到70℃）。如確實需要接觸，采取必要防護措施防止受傷。
※在進氣口處裝真空閥。
真空泵停止后進氣口處真空度降低，是因為排氣口處的大氣返至進氣口處，不是真空泵的原因。如要保證真空室內的真空度，要在真空室與泵之間安裝真空閥。
※排氣口處要接排氣管，以防灰塵進入泵內。
Q：渦旋干式真空泵加氣鎮閥時注意事項？
A：加氣鎮閥主要是為了抽包括水蒸氣在內的特殊氣體，保證泵的良好抽氣性能。使用渦旋干式真空泵時，除上述注意事項外，還要注意：
※不要用此泵抽腐蝕性氣體
此泵只能抽空氣、氮氣和水蒸氣。不要用此泵抽腐蝕性氣體，如有機溶劑、高濃度半導體工藝用氣體、高濃度強酸強堿性氣體等。這些氣體容易使軸承失效。
※被抽氣體水蒸氣含量必須少于要求值。如果超過此極限，將縮短氣鎮閥壽命
※定期檢查
※供氣
要保證加適量的氣體使泵高效率工作。
Q：渦旋干式真空泵安裝地點要求？
A：渦旋干式真空泵的安裝應滿足下述要求：
①平面放置
②避免陽光直射
③環境溫度5～35 ℃；濕度90%，或沒有結露
④通風良好
⑤泵附近不得存放化學品或易燃品
⑥防潮
⑦泵周圍環境易于對泵進行清理檢驗。
Q：渦旋干式真空泵與電源連接的注意事項？
A：※檢查確認此泵電源接地良好。
※檢查確認此泵電源為要求值。
※在此泵與真空室之間安裝保護開關。
Q：渦旋干式真空泵排氣注意事項？
A：※渦旋干式真空設計用于抽大氣不要用此泵抽特殊氣體，如易燃氣體、含國家特殊化學品規定成分的特殊或高濃度強酸強堿性氣體、或半導體工藝中高濃度氣體、有機溶劑、結晶氣體等。
※不要用此泵抽灰塵。
※不要刮碰進氣口與排氣口法蘭
以免損壞法蘭口，導致真空度上不去。如果真空度上不去，更換法蘭。
※在進氣口裝進氣閥
真空泵停止后進氣口處真空度降低，是因為排氣口處的大氣返至進氣口處，不是真空泵的原因。如要保證真空室內的真空度，要在真空室與泵之間安裝真空閥。
Q：渦旋干式真空泵聯結方式？
A：①用快卸法蘭將進氣口與相同直徑的真空管道連接。如果真空管道直徑過小，可能降低真空抽速。
②真空管道一定不能有泄漏處。
③檢查確定管道無排氣壓力。
Q：渦旋干式真空泵操作注意事項？
A：※此泵工作過程中或剛停機時不要接觸泵電機或金屬部件（因為工作時很熱，最高可能達到70℃）。如確實需要接觸，采取必要防護措施防止受傷。
※如果電壓高于240V, 可能損壞計時器。
※每天將泵啟動2-3秒，排除灰塵和水。
Q：渦旋干式真空泵開機注意事項？
A：①檢查確認電源符合要求。
②保證在氣鎮閥關閉時開啟電機保護開關，啟動泵。
Q：渦旋干式真空泵關機注意事項？
A：※停泵時，首先開啟氣鎮閥，將泵運轉5分鐘，然后再關閉氣鎮閥。否則，軸承可能由于泵體中殘留的水蒸氣而腐蝕，導致泵性能損害。
Q：渦旋干式真空泵關機步驟？
A：①停泵時，首先開啟氣鎮閥，將泵運轉5分鐘，然后再關閉氣鎮閥。否則，軸承可能由于泵體中殘留的水蒸氣而腐蝕，導致泵性能損害。關斷電機保護開關。
②每天將泵啟動2-3秒，排除灰塵和水。
Q：渦旋干式真空泵檢查與維修注意事項？
A：按照下表所示時間間隔進行泵的例行檢查。此時間間隔為泵在10Pa下運行的檢查，可能對正常泵的工作顯得過短：
※每天將泵啟動2-3秒，排除灰塵和水。
Q：渦旋干式真空泵開機注意事項？
A：①檢查確認電源符合要求。
②保證在氣鎮閥關閉時開啟電機保護開關，啟動泵。
Q：渦旋干式真空泵關機注意事項？
A：※停泵時，首先開啟氣鎮閥，將泵運轉5分鐘，然后再關閉氣鎮閥。否則，軸承可能由于泵體中殘留的水蒸氣而腐蝕，導致泵性能損害。
Q：渦旋干式真空泵關機步驟？
A：①停泵時，首先開啟氣鎮閥，將泵運轉5分鐘，然后再關閉氣鎮閥。否則，軸承可能由于泵體中殘留的水蒸氣而腐蝕，導致泵性能損害。關斷電機保護開關。
②每天將泵啟動2-3秒，排除灰塵和水。
Q：渦旋干式真空泵檢查與維修注意事項？
A：按照下表所示時間間隔進行泵的例行檢查。此時間間隔為泵在10Pa下運行的檢查，可能對正常泵的工作顯得過短：
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部件
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檢查點與注意點
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時間間隔
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軸承
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異常噪音（聽）
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每天檢查
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新更換軸承
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8000小時
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密封件如密封墊、O型圈
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新更換密封件
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8000小時 |
Q：渦旋干式真空泵故障排除？
A：
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故障
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原因
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措施
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電機不轉，能聽見泵工作聲音但泵不能啟動
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電源問題或電壓低于額定值
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檢查電源
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泵被鎖死
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與當地經銷商聯系修理
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真空度上不去
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法蘭口被刮傷
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與當地經銷商聯系修理
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真空管路問題導致漏氣
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檢漏維修
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管路被堵
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加熱除氣或更換管路
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噪音與振動過大
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軸承損壞
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與當地經銷商聯系換軸承
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泵中進異物
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與當地經銷商聯系修理
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抽氣口被堵
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與當地經銷商聯系修理 |
