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nXDS渦旋干泵

概述

nXDSi 是下一代完全無油的干式渦旋泵,并取代 XDS。nXDS 提高了傳統(tǒng)泵的性能,抽速更高,極限壓力更低,功耗更低,噪聲更小。氣鎮(zhèn)允許泵送冷凝性蒸汽,包括水、溶劑、稀酸和堿。nXDS 還采用了領(lǐng)先的端部密封技術(shù),顯著延長了端部密封更換的時間間隔。具有自動電壓輸入感知功能的集成變頻器驅(qū)動提供整體優(yōu)化的泵送性能,nXDS 可完全進(jìn)行現(xiàn)場維修。 

用途

一般清潔泵送應(yīng)用

電子掃描顯微鏡 - SEM

射束線和高能物理

前級渦輪泵

超高速離心機(jī)

覆層

低溫學(xué)

脫氣/硫化 - 油,環(huán)氧樹脂

蒸餾/萃取/過濾

冷凍干燥

熔爐

凝膠體干燥

實驗室工作臺上真空

激光、氣體回收和再循環(huán)

氦檢漏儀

負(fù)載鎖和傳輸腔

稀有氣體再循環(huán)

稀有氣體回收

冷凍制造

研發(fā)

旋轉(zhuǎn)離心蒸發(fā)器

SEM/FIB(離子束維修)

溶劑回收

表面科學(xué)儀器 

特性與優(yōu)勢

真空外殼中不需要使用潤滑劑,完全密封可保證徹底的清潔和干燥真空,防止交叉污染

無大氣壓到真空的軸封可使軸承完全隔離,從而阻止制程攻擊,軸承也能以更低溫度運(yùn)行,使用時間更長

簡單的單側(cè)滾軸布置與創(chuàng)新的電機(jī)和軸承設(shè)計相結(jié)合,只需最低程度的特殊工具,就能實現(xiàn)輕松的現(xiàn)場服務(wù),因此可降低運(yùn)行成本,盡可能延長正常運(yùn)行時間

改進(jìn)了電機(jī)和傳動效率,可降低功耗和運(yùn)行成本

先進(jìn)的接口提供了各種傳統(tǒng)、模擬和數(shù)字控制方法,可通過 USB、RS232 或 RS485 實現(xiàn)遠(yuǎn)程控制/監(jiān)視

技術(shù)數(shù)據(jù)

標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)速度

1800 rpm

1800 rpm

1800 rpm

1800 rpm

排量

6.8 m3h-1  

12.7 m3h-1  

17.1 m3h-1  

28.0 m3h-1

峰值抽速

6.2 m3h-1 

11.4 m3h-1  

15.1 m3h-1  

22.0 m3h-1

極限真空(總壓力)

0.020 mbar 

0.007 mbar 

0.007 mbar 

0.030 mbar 

最小待機(jī)旋轉(zhuǎn)速度

1200 rpm

1200 rpm

1200 rpm

1200 rpm

速度控制精度

 

 

 

 

(以全速百分比表示)

1%

1%

1%

1%

最小轉(zhuǎn)速時的抽速

4.1

7.5

9.9

10

最大連續(xù)進(jìn)氣口壓力

200 mbar

200 mbar

200 mbar

50 mbar

電機(jī)功率(一相)

260 W

280 W

300 W

260 W

電源連接器(1 相)

IEC EN60320 C13

IEC EN60320 C13

IEC EN60320 C13

IEC EN60320 C13

推薦保險絲

10A,250Vac rms

10A,250Vac rms

10A,250Vac rms

10A,250Vac rms

重量

26.2 kg  /  58 lb

25.8 kg  /  57 lb

25.2 kg  /  56 lb

25.6 kg  /  56 lb

入口法蘭

NW25

NW25

NW25

NW25

排氣口法蘭

NW25

NW25

NW25

NW25

噪音級別

52 dB(A)

52 dB(A)

52 dB(A)

52 dB(A)

入口法蘭處抗振性

< 4.5 mms-1   (rms)

< 4.5 mms-1   (rms)

< 4.5 mms-1   (rms)

< 4.5 mms-1  (rms)

密封性(靜態(tài))

< 1x10-6 mbar ls-1  

< 1x10-6 mbar ls-1  

< 1x10-6 mbar ls-1  

< 1x10-6 mbar ls-1

工作溫度范圍

10 至 40 °C  /  41 至 104 °F

10 至 40 °C  /  41 至 104 °F

10 至 40 °C  /  41 至 104 °F

10 至 40 °C  /  41 至 104 °F

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