當前位置： 首頁>>渦輪分子泵|英國愛德華真空泵 >>高吞吐量STP泵 高吞吐量STP泵
概述
Edwards 的高性能 STPHC 渦輪分子泵是為嚴苛的半導體應用而設計的。這種泵經過實踐檢驗的可靠性和一流的性能可以實現最大的制程靈活性。STPHC 已經由半導體和磁介質行業的大型設備制造商投入使用，并得到了認可。
應用
金屬（鋁）、鎢和電介質（氧化物）以及多晶硅等離子刻蝕（氯化物、氟化物和溴化物）
電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
濺射
離子注入源，射束線泵送端點站
MBE
擴散
光致抗蝕劑脫模
晶體/晶膜生長
晶片檢查
負載鎖真空腔
科學儀器：表面分析、質譜分析、電子顯微鏡
高能物理：射束線、加速器
放射線應用：融合系統、回旋
功能和優勢
先進的轉子技術
更高的氣體吞吐量
最大的制程靈活性
無油
低振動
高度可靠
免維護
可用于嚴苛制程
使用壽命延長
先進的控制器設計
自動調整
自行診斷功能
直流電機驅動
無電池運行
緊湊型設計
占地面積小
半機架控制器
軸磁懸浮系統
無污染
少維護
任意方向操作
技術數據
|
|
STPH301C |
STPH451C |
|
入口法蘭 |
ISO100K |
ISO160K |
|
出口 |
KF40 |
KF40 |
|
吹掃口 |
KF10 |
KF10 |
|
水冷卻接頭 |
PT1/4 |
PT1/4 |
|
抽速 |
|
|
|
N2 |
300 ls-1 |
450 ls-1 |
|
H2 |
200 ls-1 |
300 ls-1 |
|
壓縮比 |
|
|
|
N2 |
>108 |
>108 |
|
H2 |
103 |
103 |
|
加熱時的極限壓力 |
10-7 Pa (10-9 Torr) |
10-7 Pa (10-9 Torr) |
|
最大連續出口壓力 |
660 Pa (5 Torr) |
660 Pa (5 Torr) |
|
最大氮氣吞吐量 |
2500 sccm |
2500 sccm |
|
額定速度 |
48000 rpm |
48000 rpm |
|
啟動時間 |
4 分鐘 |
4 分鐘 |
|
最高入口法蘭溫度 |
120 °C |
120 °C |
|
輸入電壓 |
100 至 120 (± 10) V 交流或200 至 240 (± 10) V 交流 |
100 至 120 (± 10) V 交流或200 至 240 (± 10) V 交流 |
|
功耗 |
0.6 kw |
0.6 kw |
|
泵重量 |
15 kg |
15 kg |
|
控制器重量 |
9 kg |
9 kg |
