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正壓檢漏法
正壓檢漏法是在真空電阻爐內充人一定壓力的示漏氣體，如果爐體或真空管道存在漏孔，示漏氣體便從漏孔漏出。當漏率較大時，可通過觀察漏孔處發(fā)生的現(xiàn)象來檢查漏孔位置;如果漏率較小不便直接觀察，可采用專用檢漏儀器，靠近爐體或真空管道緩慢移動檢漏儀器的探頭，檢測漏出的示漏氣體，從而判定漏孔的位置及漏率的大小。
負壓檢漏法
負壓檢漏是把高溫箱式電阻爐抽成真空狀態(tài)，在爐體或真空管道外部施加示漏氣體，如果存在漏孔，示漏氣體就會通過漏孔進入爐內，利用安裝在爐內的氣體探頭檢測出示漏氣體來確定漏孔的位置，同時測量出漏率的大小。負壓檢漏分為靜態(tài)檢漏和動態(tài)檢漏。采用靜態(tài)檢漏時，把電阻爐抽成真空狀態(tài)后，關閉所有閥門和真空系統(tǒng)，用真空計進行檢漏，這種方法可以確定漏孔的位置，但很難測量出漏率的大小。
目前多采用動態(tài)檢漏，即檢漏是在真空系統(tǒng)工作狀態(tài)下進行，示漏氣體沿爐子外部巡回噴出，一旦噴到漏氣處，示漏氣體便被吸人爐內，內部的探頭發(fā)生反應，輸出變化的電信號被外部儀器測量。噴氣嘴離開漏孔后，真空系統(tǒng)把爐內的示漏氣體抽走，恢復到原來的空氣流，探頭恢復原來狀態(tài)，這樣就確定了漏孔位置。對真空電阻爐而言，真空計檢漏法比較經(jīng)濟實用。
熱傳導真空計和電離真空計的讀數(shù)與氣體種類有關，只要選用合適的示漏氣體，真空規(guī)管就變成了氣敏探頭，真空計也就成了檢漏儀。
熱傳導真空計遇到氫氣、二氧化碳、丁烷、丙醚、乙醚、酒精等氣體時，讀數(shù)會發(fā)生變化，可用這些物質做示漏氣體進行噴吹檢漏。采用電離
真空計檢漏時，氫、氦、氫、苯、丁烷、丙醚、乙醚及丙酮等能使讀數(shù)發(fā)生較大變化，因而可用它們做示漏氣體。由于熱傳導真空計反應比較
慢，就是反應快的電離真空計，由于示漏氣體在真空系統(tǒng)內建立分壓需要一定時間，巡回噴吹的速度都不能太快，而且還要判斷是壓力的變化還是真空計本身的漂移。檢漏過程中，只有示漏氣體離開后，真空計能恢復到原來的狀態(tài)，該位置才是真正的漏孔。
