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分子泵使用注意事項
(1)分子泵不能在前級泵工作時(前級管道接通)和真空室處于真空狀態時將渦輪分子泵停掉，否則將會使油蒸氣迅速從前級管路返流到泵內。
(2)分子泵系統充干燥氣體前，一定要先將分子泵冷卻水關閉，且要從泵的高真空端充氣。絕不能從泵的前級管路進行充氣。
(3)分子泵工作時嚴禁大氣量氣體進人泵內，否則會導致分子泵損壞。
(4)分子泵是高速旋轉的精密設備，抗振動或沖擊能力較弱，因此應避免與振動或沖擊強烈設備接觸。
(5)不能讓渦輪分子泵在低于額定工作轉速下運轉。
(6)分子泵入口應裝設防護網，以避免異物進人泵內損壞泵轉子和定子葉片。
(7)分子泵不宜長時間保持真空狀態，防止前級泵油反擴散到分子泵內。
(8)分子泵停止后，應關閉冷卻水，以防止在泵內形成冷凝水。
來源：中國馬弗爐網
分子泵的清洗
分子泵的清洗非常重要，如果前級泵沒有問題，而真空在規定的時間內沒有達到規定的真空度，在排除漏氣的情況下，說明分子泵內部臟化了，就需要進行清洗。分子泵的清洗分為直接進行清洗和拆卸清洗，前者適用于內部不太臟，后者用于內部嚴重臟化。經常采用直接清洗，其方法如下:
(1)關掉分子泵，進行排氣。
(2)從設備上小心卸下分子泵，注意不要碰到接口的邊緣部分，以免影響密封性。
(3)卸下冷卻器、潤滑油包等。
(4)將分子泵的高真空接口朝下，垂直地放人一個盛有無水酒精的容器中，液面高度略低于前級真空接口。
(5)上下活動分子泵幾次，便于分子泵的定子和轉子的葉片清洗。換掉無水酒精，加人新的無水酒精，最少要重復一次。每次在無水酒
精中浸泡大概5~10min。
(6)取出分子泵，將高真空接口朝上，再緩慢放平，以便排出磁性軸承中的酒精。
(7)用一個網格放在高真空接口上，然后朝下放置30min以上，排出清洗酒精，注意接口的密封表面不要損傷。
(8)接上前級真空泵，在關閉分子泵的情況下，利用前級泵抽真空，使真空度達到大概10^-1Pa左右，以便完全清除分子泵中殘留的無
水酒精。
(9)因前級真空泵中有酒精，需更換前級泵真空油。
(10)接上分子泵開始工作，因為經過處理后，分子泵中仍有殘留的酒精存在，因此第一次抽真空比較慢，屬于正常情況。
