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EDWARDS發(fā)布用于LED和化合物半導(dǎo)體制造的新型真空泵

 全球領(lǐng)先的高精真空設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相應(yīng)增值服務(wù)供應(yīng)商公司宣布推出新的干泵,新設(shè)備經(jīng)過優(yōu)化,適用于LED制造中使用的MOCVD工藝,以及在柵堆疊(gate stack)中使用III-V材料的化合物半導(dǎo)體制造工藝。請參觀公司在InterSolar展會和SEMICON/West展會的5351號展臺,以便了解有關(guān)iXH系列的更多信息。上述兩個展會將于2012年7月10-12日在美國加利福尼亞州舊金山舉辦。

  提供了非常高的氣流量,并能夠在最新一代LED制造設(shè)備所需的高負(fù)載下連續(xù)工作。iXH系列干泵采用先進(jìn)的技術(shù),最大限度地減少了維護(hù)需求,并實現(xiàn)正常運(yùn)行時間最大化,有助于降低成本?! ?/P>

EDWARDS發(fā)布用于LED和化合物半導(dǎo)體制造的新型真空泵

 

  公司LED市場經(jīng)理邵偉稱:“iXH系列干泵的新成員是設(shè)計用于滿足兩個快速發(fā)展的高技術(shù)制造細(xì)分市場的需求。由于具備出色的照明效率,LED照明產(chǎn)品逐漸被視為白熾燈照明的環(huán)保替代選擇,我們看到,中國、韓國、日本和英國最近通過立法,將逐步淘汰傳統(tǒng)的大功率照明產(chǎn)品?!?/P>

  邵偉補(bǔ)充道:“同時,在化合物半導(dǎo)體制造中使用III-V材料,正在推動摩爾定律(Moore’s Law)延續(xù)到下一代設(shè)計節(jié)點。”

  LED和化合物半導(dǎo)體制造工藝通常使用大流量氕氣和高腐蝕性氨氣。業(yè)已進(jìn)行設(shè)計優(yōu)化以滿足這些要求,具有出色的氫氣抽空性能并采用耐腐蝕設(shè)計,包括一個保護(hù)泵密封物的專利氮氣吹掃屏障(purge barrier)。XH645泵具有高溫工作能力,有助于防止可能出現(xiàn)的磷化合物冷凝。另外,該泵先進(jìn)的油潤滑和密封技術(shù)省去了定期保養(yǎng)需求,同時其散熱和電機(jī)設(shè)計可以防止出現(xiàn)過熱、電機(jī)過載或工作區(qū)域受限等問題。iXH645H泵的優(yōu)化溫度控制系統(tǒng)確保泵在約30分鐘啟動時間內(nèi)為工藝做好準(zhǔn)備。

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